fЕсли вы вошли в систему с паролем Research4Life, это означает, что вы получили доступ от учреждения, в котором данный ресурс не предлагается. Вы можете продолжить как представитель общественности, перейдя по ссылке ниже.
Если вы не вошли в систему с паролем Research4Life, вы можете войти в систему для получения расширенного доступа к контенту:
Войти для доступа к контенту
Если у вас нет пароля Research4Life или вы не хотите входить в систему, вы можете просматривать Flatness, Roughness, and Discrete Defect Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays как представитель общественности: